01 / Литографические установки
Экспонирование под задачу и тип подложки
- Назначение и описание техпроцесса
- Материал, размеры и толщина подложки
От техпроцесса к оборудованию
Логика подбора
Понятная последовательность от описания процесса до конфигурации, которую можно обсуждать с инженером.
Требования в контексте
Каждый компонент
связан с задачей.
Техпроцесс определяет состав. Интерфейсы связывают узлы. Документация и проверки подтверждают решение.
Начинаем с техпроцесса
Собираем параметры подложки, операции и результата, чтобы определить состав запроса.
Связываем компоненты
Фиксируем интерфейсы и вопросы совместимости до согласования оборудования.
Разделяем этапы
Отдельно согласуем комплектацию, проверку, подготовку площадки, поставку и ввод в работу.
От описания к согласованному запросу
- 01
Задача
Сохраняем техпроцесс, подложку, требования к результату и ограничения.
- 02
Состав
Разделяем проект на установку или набор компонентов, связываем данные с конкретными позициями.
- 03
Проверка
Выделяем интерфейсы, открытые вопросы и параметры для инженерного согласования.
- 04
Предложение
После уточнений фиксируем исполнение, комплектность, условия поставки и план проверки.
Граф требований к линии
Восемь направлений одного проекта. Перейдите к нужному узлу, чтобы посмотреть его параметры, или пройдите весь путь в БОМ.
02 / Источники излучения
Параметры источника для выбранного процесса
- Модель установки и обозначение исходного модуля
- Рабочий диапазон излучения
03 / Оптика и оптические модули
Согласование оптического тракта
- Назначение узла и исходная оптическая схема
- Рабочий спектральный диапазон
04 / Маски и работа с шаблоном
Формат, совмещение и контроль масок
- Масочный или безмасочный процесс
- Формат, материал и толщина маски
05 / Позиционирование и перемещение
Движение подложки в координатах процесса
- Размер, масса и способ фиксации подложки
- Оси и диапазон перемещения
06 / Контроль и метрология
Измерения и критерии приёмки
- Объект и измеряемые параметры
- Размеры образца и маршрут контроля
07 / Среда и инфраструктура
Условия площадки для работы оборудования
- Требования оборудования к чистоте и климату
- Доступные питание, охлаждение и коммуникации
08 / ПО и интеграция
Данные, управление и связь компонентов
- Задачи ПО и перечень подключаемого оборудования
- Версии, лицензии и программная среда
Доступность и план проекта
До расчёта срока нужно знать состав, исполнение и условия по конкретным позициям. В запросе отдельно указываются желаемая дата, город, готовность площадки и допустимость поставки этапами.
Интеграция с системами заказчика
Если проекту нужен обмен данными с учётной системой, WMS или инженерным ПО, укажите системы, форматы, состав передаваемых данных и требования к доступу. Интерфейсы и объём интеграции согласуются как отдельная часть проекта.